氬氣回收氬氣回收設備氬氣回收凈化

產品簡介：
處理氣量：（1-1000）Nm3/h
壓力：≤1.0Mpa
氬氣純度：≥99.999％
露點：≤-70℃
純氬含氧量：≤1.5ppm
廣泛應用于：
光纖，單晶硅，多晶硅行業等氬氣的回收及純化。

單晶硅行業氬氣回收（氬氣回收率≥95％）
根據單晶爐工作運行的工序，真空泵抽出的回收氬氣由閥進入到氬氣回收設備?；厥諝饨涍^鼓風機進入到進氣儲罐，然后再進入到預處理設備，除去里面的油份和雜質。然后進入以下氬氣純化設備單元，根據各個工藝將里面的雜質一一去除，然后使得回收氣氣體純度達到所需要求，進一步循環利用。