產品簡介:
處理氣量:(1-200)Nm3/h
壓力:≤1.0Mpa
氬氣純度:≥99.999%
露點:≤-70℃
含氧量:≤1.5ppm
含氫量:≤0.5ppm
含氮量:≤4ppm
ΣCH≤1ppm
廣泛應用于:
熔硅單晶爐配套使用,激光器、濺射、半導體生產,氣相色譜儀、特殊燈泡稀有金屬加工等需要用高純氬氣的有關科研和生產部門。
高純氬氣純化設備
原料氣可以是液氬,瓶裝氬氣等,針對原料氬氣的成分不同,可定制多種凈化方案。提純過程有催化脫氧、冷卻冷凝、吸附脫水、深度凈化爐等工藝,客戶的不同需求。
技術特點
采用凈化爐脫除雜質氣體,效果可達產品氣純度99.999%。
采用分子篩,產品氧氣含濕量≤-70℃露點。
采用燒結過濾器,除塵后分子粒度≤0.1μm。
純化工作氣體壓力范圍0.2-5.0MPa,并能適用于壓力波動氣體。
原料氣采用工作流程,溫度控制安全可靠。
安裝方便,結構緊湊,維修簡單。