廣東方達供應立式減薄機,采用精密的高速旋轉電主軸
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主要用途:
本設備主要用于藍寶石襯底、硅片、陶瓷片、光學玻璃、石英晶體、其它半導體材料等非金屬和金屬的硬脆性材料薄形精密零件的高速減薄。

立式減薄機主要特點:
1、吸盤根據客戶的工藝要求可分為電磁吸盤和真空吸盤,吸盤大小可根據客戶需求定制,直徑320-600mm。。
2、砂輪主軸采用精密的高速旋轉電主軸,驅動方式為變頻調速轉速可以根據不同的工藝要求由PLC控制系統支持的驅動模式而相應改變轉速3000-8000轉可調。
3、砂輪進給模式分三段設置,能更方便地設置有效的減薄方案,提高減薄后的精密度和表面效果,
4、對刀方式在不改變砂輪和吸盤的情況下,針對不同厚度的工件只需要一次對刀就可以連續工作,不需要每次都要對刀。
5、本機采用高精密絲桿及導軌組件,驅動方式是伺服驅動,可根據不同材質的工件及工藝要求由PLC控制的驅動模式而相應的改變絲桿的轉速,也就是砂輪的進刀速度,速度0.001-5mm/min可調,控制進給精度由高分辨率光柵尺檢測。
6、本機采用的臺灣品牌PLC和觸摸屏,自動化程度高,實現人機對話,操作簡單一目了然。
7、設備可檢測磨削扭力、自動調節工件磨削速度,從而防止工件磨削過程中因壓力過大產生變形及破損,自動補償砂輪磨損厚度尺寸,可使直徑150晶片厚度減薄到0.08mm厚而不會破碎。而且平行度與平面度可控制在±0.002mm范圍內。
8.減薄,LED藍寶石襯底每分鐘磨削速度高可減薄48微米。硅片每分鐘磨削速度高可減薄250微米。

主要技術參數:
吸盤盤規格 Φ320~Φ600
主電機 2.2KW/ 0~280RPM
光柵控制系統 分辨率0.001mm
砂輪規格 Φ150~Φ210
砂輪進給伺服電機 750W
磨輪重復定位精度 3um
減薄工件厚度b 0.08mm≤b≤50mm
高速旋轉主軸 4.5KW/ 3000~8000RPM
工作工位 依據產品而定
減薄平行度 ±2um(50x50)
砂泵電機/冷卻電機 AB-100 250W
設備外形尺寸 1150x200x1750mm(長x寬x高)
研磨工件理想規格 Φ50
設備質量 700kg

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