日本linx超快光學相干斷層掃描3D測量傳感器Heliotis

日本linx超快光學相干斷層掃描 3D 測量傳感器Heliotis

Heliotis 的光學相干斷層掃描 3D 傳感器以亞微米精度測量物體的 3D 形狀。載物臺集成的 heliInspect 是根據執行在線 3D 檢查的愿望而開發的。我們的 CMOS 傳感器可以對每個傳感器進行運算處理，從而實現非接觸式、和高速 3D 測量。

功能特點

Heliotis 的光學相干斷層掃描 3D 傳感器以亞微米精度測量物體的 3D 形狀。載物臺集成的 heliInspect 是根據執行在線 3D 檢查的愿望而開發的。我們的 CMOS 傳感器可以對每個傳感器進行運算處理，從而實現非接觸式、和高速 3D 測量。

• 非接觸式測量

  

  heliInspect是一款基于白光干涉原理的3D傳感器，可實現亞微米級的測量。H8系列可以以幾十納米的精度進行測量。

• 快速 3D 測量

  可在每次拍攝約 0.5 秒內進行納米級 3D 測量。在元件內執行速數據處理的傳感器顯著縮短了測量時間，同時保持了白光干涉儀的精度。

• 廣泛的應用

  可以準確測量透明液體、玻璃和反射率高的鏡面物體的表面，這在通常的圖像處理中是很困難的?？蓱糜诤稿a球形狀檢查、共面性檢查、透鏡面形狀檢查、膜厚檢查等廣泛領域。

• 體積小，易于安裝

  

  heliInspect 是一種超快傳感器、光源和光學器件，封裝在一個小模塊中。由于堅固且易于安裝，因此可輕松用于各種用途，例如研發和在線 檢查。

  應用領域

  

  規格

  

  產品名稱	直升機檢查H8
  Z 級編碼器分辨率	20nm（標準型） 1nm（型）
  水平分辨率	0.24 微米	0.48 微米	1.2 微米	2.4 微米	3微米	6微米	12 微米
  視場（毫米）	0.131 × 0.123	0.259 × 0.246	0.648 × 0.641	1.296 × 1.229	1.62×1.54	3.24×3.07	6.48×6.14
  西部數據	2mm（尼康）	3.4 毫米（尼康）2.52 毫米（徠卡）	4.7 毫米（尼康）3.57 毫米（徠卡）	7.4 毫米（尼康）3.57 毫米（徠卡）	12mm	42mm	42mm
  身體尺寸	H254mm x W100mm x D58mm
  軟件	嵌入式 SDK（HALCON、C++、LabView、Python）

• 漸進式高度、角度和形狀測量

• 表面波紋度和粗糙度測量

• 劃痕和污垢等缺陷檢測

• 表面平整度和變形率的測量

• 幾納米量級的薄膜厚度測量（斷層掃描模式）