訂制中頻靶材磁控濺射靶材

。它由靶管（１）、四條條形永磁體（２）、固定永磁體的整體式極靴（３）、旋轉機構（４）、冷卻水進出水通道（５）、靶帽（６）、屏蔽罩（８）和設置在四條永磁體兩端的磁場連接裝置（７）構成。由于本實用新型的結構采用圓柱型靶管—四條條形永磁體—整體式極靴—磁場連接裝置和旋轉式結構，冷卻水道通暢，使鍍膜層厚度均勻（鍍制鍍膜玻璃時色差ΔＥ≤４)，靶材利用率>７０％，靶的濺射沉積速度快，靶功率高，鍍膜效率也高，成膜附著力強