工廠轉讓光馳鍍膜機1800mm 配置:雙槍 晶控 光控 深冷 離子源 1800MM 真空鍍膜機
用于生產IR-CUT濾光片、分色濾光片、高反射膜、AR膜、長波通、短波通和多種電學薄膜、手機、玻璃和塑膠光學鏡片、眼鏡片AF、AS膜的鍍膜生產,視窗(玻璃或塑膠)、塑膠片材彩色光學膜的制備。
型號 OTFC-1800
真空室:SUS304,Ф1550*1800MM |
工件架:Ф1400 |
工件架轉速:10rpm to 30rpm (可變) |
光學膜厚控制:HOM2- -R -VIS350A |
光學膜厚監控儀:波長范圍: 350nm to 1100nm |反射式 |
水晶式膜厚計:XTC/3+6點式水晶傳感器 |
蒸發源:2套日本電子24P雙槍 |
離子源:23 寸光馳RF離子源 |
排氣系統:機械泵1個,擴散泵Polycold 日本愛發科2401+1200A |
性能 |
達到壓力:7. 0X10-5Pa以下 |
排氣時間:20分(大氣壓~1. 3X 10-3Pa) |
基板溫度:高: 350C |
工作條件 |
電源:3相, 200v, 50/ 60Hz,約120KVA |
水流量:180升/分以上 |
空氣壓力:0.5MPa以上 |
重量:約11000kg |
真空測量系統 配三路數字復合真空計,兩路低真空,一路高真空
操作方式 手動/自動
工件夾具 Φ1600
工件烘烤系統 上烘烤,鎧裝管狀加熱器加熱,******溫度350℃,PID自動控溫及顯示
產品特點
采用箱式結構,真空系統后置,便于操作和維修;整機表面平整,方便清潔,特別適合放置在凈化間內做穿墻式安裝。
設備真空系統抽速大,具有抽氣時間短,真空度高,生產周期短等優點。
采用管狀加熱器上烘烤,烘烤溫度均勻,壽命長,可達到烘烤溫度350℃,烘烤均勻性270℃±10℃。
工件轉動采用上部中心驅動,軸承帶水冷,磁流體密封,轉動平穩可靠。
采用石英晶體膜厚控制儀,可實現鍍膜過程的自動控制。
采用的鍍膜控制系統,人機操作界面美觀實用,系統穩定可靠,可實現系統的手動、半自動和全自動操作