雙面研磨機的主要用途:
該機主要用于硅片、砷化鎵片、陶瓷片、石英晶體、光電玻璃及其他硬脆材料的雙面研磨、拋光。
工作原理:
2.本系列研磨機為精密研磨設備,上、下研磨盤作相反方向轉動,工件在載體內作既公轉又自轉的游星運動。磨削阻力小不損傷工件,而且兩面均勻磨削生產。
2.本系列研磨機修整機構采用油壓懸浮導軌前后往復運動,金剛石修面刀給研磨盤的研磨面進行平面修整。
特 點
1. 本系列研磨機的上、下研磨盤可進行自動修盤。
2. 采用四個電機同步拖動,變速范圍更廣,運動精度更高,響應速度,能適應不同研磨材料及研磨工藝的要求,實現了軟啟動、軟停止,調速穩定,沖擊小。
3. 修面機采用伺服馬達驅動,能確保油壓懸浮導軌滑動更加平穩,得到的平面修整效果非好。
4. 控制系統中采用DSP、Web-Link、彩色終端等技術,系統的響應速度、更,并具有遠程監控,遠程維護功能;
5. 本系列研磨機有光柵厚度控制系統,加工后的產品厚度公差可控制在±0.002mm范圍內。
技術參數:型號:SX-6B,研磨盤規格:φ380×φ140×12t 大加工工件尺寸:φ130mm 工件平面度(25mm):±0.1u以內
工件平行度(25mm):±0.2u以內 工件粗糙度(石英材料):0.4nm以內 研磨盤修面后平行度:±1u以內 游輪規格:φ155mm
游輪數量:5枚 下研磨盤轉速:0~180rpm 下研磨盤電機功率:0.75kw 3相380V 上研磨盤研磨轉速:0~60rpm
上研磨盤修面轉速:0~180rpm 修面機速度:200mm/分鐘 重量::1100kg