設備包括:
電子槍,產生電子束,
工作腔,大部分被抽成“低”或“高”真空,
工件機械手(定位機構),
電源以及控制和監視電子設備。
在電子槍中,自由電子是從熱金屬帶(或金屬絲)通過熱發射獲得的。然后通過三個電極產生的電場將它們加速并形成狹窄的會聚束:電子發射帶,連接到高壓(加速)電源(30-200 kV)負極和正極的陰極。高壓電極、陽極。三個電極相對于陰極帶負電,稱為Wehnelt電極或控制電極。它的負電位控制發射的電子進入加速場的部分,即電子束電流。
為了使電子槍正常工作,相對于加速電子透鏡和磁聚焦透鏡的光軸地調整電子束。這可以通過在聚焦透鏡之前施加一些特定的徑向方向的磁場和垂直于光軸的強度來完成。這通常是通過一個簡單的校正系統來實現的,該校正系統由兩對線圈組成。通過調節這些線圈中的電流,可以產生任何所需的校正場。