在電子槍中,自由電子是從熱金屬帶(或金屬絲)通過熱發射獲得的。然后通過三個電極產生的電場將它們加速并形成狹窄的會聚束:電子發射帶,連接到高壓(加速)電源(30-200 kV)負極和正極的陰極。高壓電極、陽極。三個電極相對于陰極帶負電,稱為Wehnelt電極或控制電極。它的負電位控制發射的電子進入加速場的部分,即電子束電流。
通過聚焦透鏡后,光束可以直接或通過偏轉系統偏轉后用于焊接。它由兩對線圈組成,每個X和Y方向一個。這些可以用于“靜態”或“動態”偏轉。靜態偏轉對于通過焊接定位梁很有用。動態偏轉是通過向偏轉線圈提供可由計算機控制的電流來實現的。這為電子束應用開辟了新的可能性,例如表面硬化或退火,的電子束定位等。
快速偏轉系統也可以用于成像和雕刻(如果配備了適當的電子設備)。在這種情況下,設備像掃描電子顯微鏡一樣操作,分辨率約為0.1毫米(受光束直徑限制)。在類似的模式下,由計算機控制的細光束可以通過熔化薄的表面層在金屬表面“寫”或“畫”圖片。
即使沒有在真空中實現,電子束焊接也永遠不能“手動”進行,因為始終會產生強烈的X射線。梁和工件的相對運動通常是通過工件的旋轉或線性移動來實現的。在某些情況下,可通過計算機控制的偏轉系統移動光束來實現焊接。工件機械手大多是單設計的,可以滿足焊接設備的特定要求。
高壓設備還為陰極加熱提供5 V以上的低壓,為控制電極提供高達約1000 V的負電壓。電子槍還需要用于校正系統,聚焦透鏡和偏轉系統的低壓電源。如果要提供計算機控制的成像,雕刻或類似的光束應用,后提到的可能會非常復雜??赡苓€需要復雜的電子設備來控制工件機械手。
電子束焊機還有一些輔佐設備,比如電子槍,渙散泵以及渦輪分子泵等,作業時均會發熱,為堅持正常作業,這些都需求用循環水進行冷卻。因此,真空電子束焊機還需求制作有冷卻水的系統,包括水的凈化過濾及軟扮裝。 其他真空系統各級閥門一般要求用壓縮空氣,因此需求有供氣系統及凈化壓縮空氣的油水分離設備。