一、設備概述1.用于卷材放料暴光后再收卷。2.材料有效寬度:Max1300mm二、設備規格以及主要技術指標◆有效尺寸:2300mm×1300mm◆方式:平行光曝光◆有效幅寬:1300mm◆有效距離:2600mm◆均勻性:≥90%(均勻性計算:小值/大值*100)◆解析度: 10um◆精度:線路寬5-15μm,線間距25μm◆平行半角:DA<2度
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