產品參數
內部直徑0.8米高度1米
水冷不銹鋼爐體 日本單電子槍和離子源
雙300擴散泵+英國愛德華羅茨泵+機械泵,配阻蒸,鍍AR,AF都可以。英富康310晶控單探頭
真空性能:5×10-4Pa,
抽速:大氣到5×10-3Pa小于10分鐘,
升壓時間:1×10-3Pa到1×10-1Pa大于10分鐘
轉動夾具:球面或平面,5-20轉/立式公轉夾具
特點:
1.大抽速真空系統加配深冷裝置,滿足生產的要求。
2.裝載量更大,如需鍍制大尺寸平面產品,可配備平面夾具
3.配備為該系列鍍膜機特殊設計的單電子槍,可使膜料面平整無坑、確保蒸發分布穩定。
4.可配置在線反射率監控系統,產品一致性好。
適用范圍
用于生產IR-CUT濾光片、分色濾光片、高反射膜、AR膜、長波通、短波通和多種電學薄膜</a>
此設備由東莞遠大真空技術有限責任公司轉讓,聯系方式,胡遠軍:I36 ooI7 9826