產品特色
機臺尺寸 : 1900 (W) x 4000 (D) x 2100 (H) mm
有效鍍膜空間 : O480 x H550 mm
夾層式直接水冷不銹鋼腔體
搭載真空渦輪幫浦
4~8組PVD鍍膜靶源
8軸之3層公自轉機構可大幅提升系統批次產量與均勻性
整套置具臺車進出方便Loading/Unloading 生產
全自動化鍍膜生產
遠端網路診斷及程式除錯
鍍膜總類:TiN、CrN、AlTiN、 TiAlN、TiSiN…
應用產業
銑削、車削、鉆孔、攻牙之刀工具
成型、沖壓之模具