中頻電源表面清洗離子清洗機,
等離子體是物質的一種存在狀態,通常物質以固態、液態、氣態三種狀態存在,但在一些特殊的情況下有四種狀態存在,如地球大氣中電離層中的物質。等離子體狀態中存在下列物質:處于高速運動狀態的電子;處于激活狀態的中性原子、分子、原子團(自由基);離子化的原子、分子;未反應的分子、原子等,但物質在總體上仍保持電中性狀態。等離子清洗/刻蝕機產生等離子體的裝置是在密封容器中設置兩個電極形成電場,用真空泵實現一定的真空度,隨著氣體愈來愈稀薄,分子間距及分子或離子的自由運動距離也愈來愈長,受電場作用,它們發生碰撞而形成等離子體,這些離子的活性很高,其能量足以破壞幾乎所有的化學鍵,在任何暴露的表面引起化學反應,不同氣體的等離子體具有不同的化學性能,如氧氣的等離子體具有很高的氧化性
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中頻電源表面清洗離子清洗機KT-S2DQX-C
供電電源
AC220V(AC110V可選)
工作電流
整機工作電流不大于3.5A(不含真空泵)
射頻電源功率
150W
射頻頻率
13.56MHz
頻率偏移量
<0.2MHz
特性阻抗
50歐姆,手動匹配
耦合方式
電容耦合
真空度
≤50Pa
腔體材質
高純石英
腔體容積
Φ100mmX200mm
旋轉速度
20轉/分鐘
氣體流量
0—300ml/min
過程控制
觸摸屏自動控制+手動調節流量
清洗時間
手0-999秒
外形尺寸
615X390X560mm
重量
56Kg
真空室溫度
小于65°C
真空計量程
1E5Pa至1E-1Pa(皮拉尼真空計)
標配
KF16真空管1米,kf16卡箍2個,不銹鋼網匣1個,電源線一根,說明書一本。